박막트랜지스터 액정표시장치(TFT LCD) 제조에 필요한 전공정 장비의 국산화가 활기를 띠고 있다. 19일 업계에 따르면 주성엔지니어링·한국디엔에스·피에스케이·에디피 등 장비 개발업체들이 박막·식각 등 LCD 제조 핵심장비 개발에 잇따라 나섬에 따라 전공정 장비에 대한 국산화 전망을 한층 밝게 하고 있다. 특히 세정장비와 같은 전공정 부가장비와 검사·조립 등의 후공정 장비에 이어 그동안 전량 수입에 의존해 온 전공정 핵심장비까지 국산화함에 따라 5세대 LCD에 투자를 집중하고 있는 국내 LCD업계는 물론 5세대를 준비중인 대만시장에 대한 공략이 가능해져 외화절감은 물론 수출확대에도 한몫 할 수 있을 것으로 보인다.
주성엔지니어링(대표 황철주)은 반도체 화학기상증착(CVD) 기술을 적용한 5세대 TFT LCD 제조용 CVD장비(모델명 유레카6000)의 개발을 완료, 제조업체를 통한 필드 테스트를 준비하고 있다.
이 회사는 120억원 이상의 개발비를 투입해 개발한 이 장비를 오는 3분기부터 필드 테스트에 나설 예정이며 테스트가 끝나는 4분기부터 국내외 LCD업체들을 대상으로 본격적인 판매에 들어갈 예정이다. 피에스케이테크(대표 박경수)는 지난해 말 일본 와이에이씨(YAC)와 협력해 최대 1100×1300㎜ 크기의 TFT LCD 제조공정에 적용할 수 있는 5세대용 건식 식각장치의 개발을 끝마친 데 이어 이달부터 LCD 제조업체로부터 재료를 도입해 식각성능을 검증하는 커스터머 데모 작업을 실시한다. 또 이 회사는 9월부터 LCD 제조업체를 통한 필드 테스트를 실시한 후 내년 1분기중 식각장치와 반송시스템이 결합된 프로덕션 시스템을 완성해 삼성전자와 LG필립스LCD의 5세대 설비 수요에 대응하는 한편, 본격적인 해외시장 개척에 착수한다는 계획이다.
한국디엔에스(대표 임종현)는 보급형 LCD 제조용 인라인 설비를 개발해 지난해 대만시장을 성공적으로 공략한 데 이어 최근에는 1100×1250㎜ 크기를 지원하는 5세대 TFT LCD 제조용 포토레지스트의 박리설비 개발을 거의 마무리하고 LCD 제조업체를 통한 테스트작업을 준비중이다. 이 회사는 또 7월께는 삼성전자의 5세대 라인에 필드 테스트용 장비를 공급할 수 있을 것으로 낙관하고 있으며 테스트가 끝나는 내년에는 삼성전자에 추가 장비 공급과 우리나라에 이어 5세대 설비 투자에 적극적인 대만시장도 효율적으로 공략할 수 있을 것으로 기대하고 있다. 업계 관계자는 “그동안 LCD 전공정 장비는 국산화가 미진해 미국·일본 장비업체들이 시장을 점유해 왔으나 최근 국내 장비업계가 후공정 장비에 이어 전공정 장비까지도 속속 국산화함에 따라 30% 미만에 그친 장비 국산화율이 크게 향상될 것으로 보인다”며 “전공정 장비는 대당 수십억원에서 100억원을 호가하는데다 부가가치도 후공정 장비에 비해 매우 높아 수입대체 효과뿐만 아니라 장비업계 발전에도 상당히 기여할 전망”이라고 말했다.
